asml是哪个国家的?曾属于飞利浦旗下

在20世纪80年代,荷兰的ASML只是飞利浦旗下的一家小公司。如今,ASML不仅将曾经的光刻机强国美日拉下神坛,还垄断了全球7nm及以下的EUV光刻机技术。

asml是哪个国家的?曾属于飞利浦旗下

ASML是如何实现一路超车的?为什么是当今唯一拥有先进光刻机技术的?ASML的成功可以复制吗?荷兰Techwatch媒体公司首席执行官、荷兰高技术研究所董事总经理雷尼·雷杰梅克(Renee Regjmek)编撰的《光刻巨人:ASML的崛起》一书,历经7年采访,揭示了ASML秘密的一角。

雷吉梅克在接受《中国经济周刊》记者采访时表示,中国制造出晶圆步进机可能还需要很长时间。但中国有足够的资金和知识储备,一旦拥有了设备,就可以启动先进的晶圆厂项目。

ASML公布2020年全年财务报告。2020年,ASML的销售额为139.8亿欧元(约合人民币1098亿元),总共交付了258台光刻系统——以此计算,一台光刻机的平均价格超过4亿元(编者注:包括安装和管理成本)。

其中,中国大陆市场超过美国市场成为第三大市场,销售额增长约72%。在这258个系统中,中国大陆占18%。也就是说,中国大陆在2020年获得了大约46台ASML光刻系统。

但据《中国经济周刊》记者了解,中国大陆收购的光刻系统中,并没有最先进的EUV(极紫外)光刻机,而是DUV(深紫外)光刻机。

EUV的平版印刷术比DUV的更精确。据环球网报道,虽然DUV光刻机是目前广泛使用的光刻机,但7nm已经是DUV光刻的极限,因此英特尔、三星、TSMC等企业都在7nm引入了EUV光刻技术。

2015年出生的EUV,是ASML十年打磨的产物。在接下来的五年里,面对ASML的EUV优势,尼康节节败退,失去了超过50%的光刻机市场份额。如今,尼康已经放弃了EUV的研发,在光刻机市场苦苦挣扎。

Regimek认为,ASML之所以能成为全球唯一能生产EUV光刻机的公司,有赖于TSMC和英特尔的支持。

作为ASML遇到的第一个“贵人”。TSMC在技术、人才和资金方面给了ASML很大帮助。借助TSMC的“浸没式光刻”方案,ASML将光源的波长从193纳米缩短到132纳米。从那以后,ASML迅速侵蚀了光刻机的市场份额。

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